
| 
				 型號  | 
			
				 RBXG–400–400–50-50  | 
			
				 RBXG–500–500–100-100  | 
			
				 RBXG–600–600–150-150  | 
		||||||
| 
				 軸號  | 
			
				 X  | 
			
				 Y(底)  | 
			
				 Z1Z2  | 
			
				 X  | 
			
				 Y(底)  | 
			
				 Z1Z2  | 
			
				 X  | 
			
				 Y(底)  | 
			
				 Z1Z2  | 
		
| 
				 行程  | 
			
				 400 mm  | 
			
				 400 mm  | 
			
				 50 mm  | 
			
				 500 mm  | 
			
				 500 mm  | 
			
				 100 mm  | 
			
				 600 mm  | 
			
				 600 mm  | 
			
				 150 mm  | 
		
| 
				 定位精度  | 
			
				 ±1.5μm  | 
			
				 ±1μm  | 
			
				 ±1.5μm  | 
			
				 ±1μm  | 
			
				 ±1.5μm  | 
			
				 ±1μm  | 
		|||
| 
				 雙向重復定位精度  | 
			
				 ±0.5μm  | 
			
				 ±0.35μm  | 
			
				 ±0.5μm  | 
			
				 ±0.35μm  | 
			
				 ±0.5μm  | 
			
				 ±0.35μm  | 
		|||
| 
				 電子分辨率  | 
			
				 0.3nm 或 5nm (選配)  | 
		||||||||
| 
				 最大速度  | 
			
				 1 m/s  | 
			
				 0.2 m/s  | 
			
				 1 m/s  | 
			
				 0.2 m/s  | 
			
				 1 m/s  | 
			
				 0.2 m/s  | 
		|||
| 
				 加速度  | 
			
				 0.5g  | 
			
				 0.1g  | 
			
				 0.5g  | 
			
				 0.1g  | 
			
				 0.5g  | 
			
				 0.1g  | 
		|||
| 
				 直線度  | 
			
				 ±3μm  | 
			
				 ±2μm  | 
			
				 ±3μm  | 
			
				 ±2μm  | 
			
				 ±4μm  | 
			
				 ±2μm  | 
		|||
| 
				 速度穩(wěn)定性  | 
			
				 0.1% @v=200mm/s  | 
		||||||||
| 
				 負載  | 
			
				 20 Kg  | 
		||||||||
| 
				 型號  | 
			
				 A  | 
			
				 B  | 
			
				 C  | 
		
| 
				 RBXG-400-400-50-50  | 
			
				 1250mm  | 
			
				 1010mm  | 
			
				 1530mm  | 
		
| 
				 RBXG-500-500-100-100  | 
			
				 1350mm  | 
			
				 1110mm  | 
			
				 1580mm  | 
		
| 
				 RBXG-600-600-150-150  | 
			
				 1450mm  | 
			
				 1210mm  | 
			
				 1630mm  | 
		
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